DTL是一个低成本实现高分辨率的曝光技术,它可以实现非接触、低缺陷、大面积、无拼接的曝光。
欧亚私募股权公司 AGIC 资本于当地时间 7 月 5 日宣布,AGIC 已投资专业非接触式纳米紫外光刻设备和技术服务提供商 Eulitha AG,具体投资金额暂未披露。
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